PA200/PA300 系列正置大平臺(tái)金相顯微鏡，采用靈活的模塊化設(shè)計(jì)，提供明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC微分干涉、熒光等多種觀察方式。該顯微鏡不僅確保優(yōu)異的光學(xué)性能，還具備安全穩(wěn)定的一體化機(jī)身結(jié)構(gòu)，具有低重心、高剛性、高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，極大提升了顯微鏡的抗振能力。其人體工程學(xué)與智能化設(shè)計(jì)，有效減輕了操作者在長時(shí)間工作下的疲勞感。該顯微鏡廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域，適用于大型樣品檢測(cè)及中小尺寸樣品的陳列檢測(cè)，是晶圓表面缺陷、FPD液晶基板等行業(yè)理想的檢測(cè)工具。

更高清，直抵細(xì)節(jié) 

全新升級(jí)S-APO高解析平場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡 

視場(chǎng)襯度、均勻性等成像質(zhì)量多方位升級(jí) 

輕松應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體晶圓、FPD面板的缺陷檢測(cè)

更穩(wěn)定，觀察更從容

全新設(shè)計(jì)C型結(jié)構(gòu)一體式寬型機(jī)架

低重心、高剛性、高穩(wěn)定性

確保高倍觀察也能穩(wěn)定成像

更靈活，多功能集成

采用模塊化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)/暗場(chǎng)/熒光/微分干涉/偏光等觀察方式

更全面，缺陷檢測(cè)

360mm×305mm大平臺(tái)移動(dòng)行程

即使是12寸晶圓也可整圈無壓力觀測(cè)

結(jié)合多種觀察方法實(shí)現(xiàn)完整的晶圓缺陷分析

更舒適，人性化設(shè)計(jì)

人機(jī)工程設(shè)計(jì)

用戶可輕松調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)置

效率全面進(jìn)階的同時(shí)

保持工作的舒適性

更智能，操作更簡便

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器|智能電動(dòng)光

自動(dòng)匹配物鏡倍數(shù)與明暗場(chǎng)

避免手動(dòng)操作誤差，確保觀測(cè)效果穩(wěn)定