全新的一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng)，是理想的檢測半導(dǎo)體器件的工具，支持3種激光波長，可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

PSM-1000探針臺(tái)顯微鏡描述

●  人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-　30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。

●  管鏡

PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過率。

●  光路切換拉桿

通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。

●  偏光觀察

主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進(jìn)行偏光觀察。

●  調(diào)焦機(jī)構(gòu)

PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)最大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。

●  轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。

●  物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。

●  數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。

●  照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。

●  探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進(jìn)行硅片的測試。

●  激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無需專用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。

注:在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問題，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。

PSM-1000探針臺(tái)顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)